大気圧マイクロ波プラズマニードル発生装置 Atmospheric microwave plasma needle

特徴

• プラズマニードルに500～2,000 sccmのアルゴンと数％の反応性ガスを混 合した放電ガス流に5～50 Wの2.45 GHzマイクロ波を給電することにより、 ノズル先端よりニードル状プラズマを発生させる。
• 放電ガスの流速、ガス種、マイクロ波電力を変えることにより、低温プラズマ～熱プラズマを発生できる。
• 適量の反応性ガス（酸素、水素、メタン等）を混入するとプラズマニードル内に種々の反応性活性種が生成され、ノズル先端部付近に設置された試料表面のプロセシング （エッチング、成膜、濡れ性改質等）を行うことができる。
• プラズマニードルの直径は2～3 mmと細いため、小面積の加工に適している。